הויפּט פאָרשטעלונג און סטרוקטור פֿעיִקייטן:
1. די שטח געדיכטקייט מעטער און שטאַרבן קענען פֿאָרמען אַ פֿאַרמאַכט-לופּ קאָנטראָל.
2.CCD סיסטעם מיט פארמאכט-לופּ קאָנטראָל פֿאַר דימענסיע דעטעקציע.
3. קלעפּ אָן די טערמינאַציע טייפּ אויף די טיילינגז.
4. טאָפּל שיכטע סלערי קענען זיין קאָוטאַד אויף דער זעלביקער זייַט פון די סאַבסטראַט.
5. ארבעטן צוזאַמען מיט MES סיסטעם און פאַרוואַלטן מאָט וואָלקן קאָנטראָל פֿאַר עקוויפּמענט.

קוואַליטעט מאָניטאָרינג און באַמערקונגען:
1. שטח געדיכטקייט מעטער אין X/B שטראַל פֿאַר אָנליין דעטעקציע.
2.CCD סיסטעם פֿאַר דימענסיע און פלאָ דעטעקציע.
3.NG מארק אינקדזשעט דרוק.
4. טעמפּעראַטור מעסטונג דורך IR אויף דער ייבערפלאַך פון עלעקטראָד אין די אויוון.
5. דער מאַסע פלאָומעטער מאָניטאָרס אָנליין פֿאַר די פלאָו, וויסקאָסיטי און טעמפּעראַטור.
6.NMP קאנצענטראציע מאָניטאָרינג פֿאַר קאַטאָדע אויוון און הומידיטי דעטעקשאַן פֿאַר אַנאָדע אויוון.