הויפּט פאָרשטעלונג און סטרוקטור פֿעיִקייטן:
1. די געגנט געדיכטקייַט מעטער און שטאַרבן קענען פאָרעם אַ קלאָוזד-שלייף קאָנטראָל.
2.CCD סיסטעם מיט פארמאכט-שלייף קאָנטראָל פֿאַר ויסמעסטונג דיטעקשאַן.
3.פּאַסטע טערמאַניישאַן טייפּ אויף די טיילינגז.
4.דאָובלע שיכטע סלערי קענען זיין קאָוטאַד אויף דער זעלביקער זייַט פון די סאַבסטרייט.
5.וואָרק צוזאַמען מיט MES סיסטעם און מאַנאַגעמענט מאָט וואָלקן קאָנטראָל פֿאַר ויסריכט.

קוואַליטעט מאָניטאָרינג און באַמערקונגען:
1.Area געדיכטקייַט מעטער אין X / B Ray פֿאַר אָנליין דיטעקשאַן.
2.CCD סיסטעם פֿאַר ויסמעסטונג און פלאָ דיטעקשאַן.
3.NG צייכן ינגקדזשעט דרוקן.
4.טעמפּעראַטור מעזשערמאַנט דורך יר אויף די ייבערפלאַך פון עלעקטראָדע ין די ויוון.
5. די מאַסע פלאָוומעטער מאָניטאָרס אָנליין פֿאַר די לויפן, וויסקאָסיטי און טעמפּעראַטור.
6.נמפּ קאַנסאַנטריישאַן מאָניטאָרינג פֿאַר קאַטאָוד ויוון און הומידיטי דיטעקשאַן פֿאַר אַנאָוד ויוון.